我國半導(dǎo)體材料精密磨粒加工有了“金剛鉆”。近日，記者從河南省柘城縣獲悉，河南力量鉆石股份有限公司參與完成的“半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎二等獎。該企業(yè)成為河南省商丘市近十年來*獲此殊榮的企業(yè)。
半導(dǎo)體器件制造技術(shù)是信息、新能源、智能制造等國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的關(guān)鍵。由于半導(dǎo)體器件制造過程復(fù)雜、要求嚴(yán)苛，采用金剛石磨粒工具對半導(dǎo)體材料進(jìn)行多種形式加工是必不可少的環(huán)節(jié)。
據(jù)統(tǒng)計(jì)，我國磨具消耗量全球*，但半導(dǎo)體用系列精密磨具長期依賴進(jìn)口。
“工具設(shè)計(jì)缺依據(jù)、工具制造遇瓶頸、加工工藝難掌控、加工裝備自主率低等突出問題是制約我國高性能半導(dǎo)體器件自主創(chuàng)新的主要因素�！编嵵菽チ夏ゾ吣ハ餮芯克邢薰緢�(zhí)行董事、高性能工具全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任趙延軍說。這次獲獎的項(xiàng)目針對以上瓶頸，攻克了半導(dǎo)體材料精密磨粒加工系列技術(shù)難題，為我國半導(dǎo)體領(lǐng)域高質(zhì)高效加工解決了關(guān)鍵材料的迫切需求。
河南力量鉆石股份有限公司項(xiàng)目部主任陳亞男介紹，作為參與“半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用”項(xiàng)目研發(fā)的骨干企業(yè)，本次獲獎是繼2023年榮獲河南省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎之后，河南力量鉆石股份有限公司在高端超硬材料科技創(chuàng)新方面的又一次突破，解決了高品質(zhì)微細(xì)磨粒批量化生產(chǎn)難題，有力保障了我國高性能半導(dǎo)體器件自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)鏈安全。
河南省力量鉆石股份有限公司是全國超硬材料行業(yè)龍頭企業(yè)之一，擁有“河南省功能性金剛石及制品工程技術(shù)研究中心”“高品級金剛石大單晶合成河南省工程實(shí)驗(yàn)室”“河南省超硬材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心”“河南省培育鉆石產(chǎn)業(yè)研究院”等科技創(chuàng)新平臺，目前公司擁有自主研發(fā)科技成果20項(xiàng)，全部實(shí)現(xiàn)自主轉(zhuǎn)化。
“下一步，我們將在半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工領(lǐng)域不斷精進(jìn)，立足自主研發(fā)、掌握核心技術(shù)，在高端超硬材料科技創(chuàng)新方面不斷實(shí)現(xiàn)新突破�！编嵵菽チ夏ゾ吣ハ餮芯克邢薰w延軍表示。
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